項目

描述

測量范圍

Z軸（垂直）

160μm

X軸（水平）

17.5mm

分辨率

Z軸（垂直）

0.01μm/±20μm

0.02μm/±40μm

0.04μm/±80μm

測量項目

參數(shù)

Ra,Rq,Rz,Rt,Rp,Rv,RS,RSm,Rz(JIS),Ry(JIS),RSK,R3z,Rmax,Rpc,Rmr,RK,RpK,RvK,Mr1,Mr2,VO

標準

ISO、ANSI、DIN、JIS

圖形

粗糙度輪廓，支承率曲線，直接輪廓

濾波器

RC，PC-RC，Gauss，D-P

取樣長度（lr）

0.25,0.8,2.5（mm）

評定長度（ln）

ln=lr×n n=1-5

傳感器

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測力

< 4mN

導頭

紅寶石，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25，Vt=0.135mm/s

lr=0.8，Vt=0.5mm/s

lr=2.5，Vt=1mm/s

返回  Vt=1mm/s

示值誤差

不大于±10%

示值變動性

不大于6%

電源

內(nèi)置鋰離子充電電池，用8.4V，1000mA充電器充電

外形尺寸

119×47×65mm

重量

約380g